冰轮环境:公司暂不涉及光刻机的激光光源冷却系统


(原标题:冰轮环境:公司暂不涉及光刻机的激光光源冷却系统)
同花顺(300033)金融研究中心08月20日讯,有投资者向冰轮环境(000811)提问, 董秘您好,氦气发生冷却装置,用于光刻机的激光光源冷却系统,确保极紫外(EUV)或深紫外(DUV)光源的稳定运行。单台光刻机需1-2套,价值量超1300万元,技术壁垒极高。公司是否掌握相关技术?公司技术设备能否用于芯片制造领域?
公司回答表示,您好,公司暂不涉及光刻机的激光光源冷却系统。在半导体制造领域,公司精于电子厂房温湿控洁净精密空间建设,服务过中芯绍兴、富士康、天科合达、Wafer等。感谢关注
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